百級(jí)潔凈室

　　100級(jí)潔凈室的氣流形式是層流模式�？諝庖跃鶆虻慕孛嫠俣妊仄叫辛骶�流動(dòng)，這與流體力學(xué)的層流概念不同。具體來(lái)說(shuō)，它是垂直層流側(cè)回風(fēng)。與100級(jí)以上潔凈室采用的混流或混流模式(即空氣以不均勻的速度流動(dòng))相比，具有效果完整、運(yùn)行快速穩(wěn)定、粉塵堆積和漂浮少、管理方便等優(yōu)點(diǎn)，但設(shè)備成本很高，維護(hù)成本也很高。

　　潔凈度：粒徑大于等于0.1微米的最大粒徑不能大于100個(gè)。

　　千級(jí)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)

　　要了解千級(jí)潔凈室，首先要了解無(wú)塵的概念。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化水平主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō)，所謂無(wú)塵不是100%沒有灰塵，而是控制在非常微量的單位上。當(dāng)然，與我們常見的灰塵相比，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒很小，但對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，即使是一點(diǎn)灰塵也會(huì)產(chǎn)生很大的負(fù)面影響，所以無(wú)塵是光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品生產(chǎn)中不可避免的要求。

　　潔凈度：

　　每立方米粒徑小于0.5微米的粉塵數(shù)量控制在3500以下，達(dá)到國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)A級(jí)。目前，芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)粉塵的要求高于A級(jí)，主要用于一些高級(jí)芯片生產(chǎn)。粉塵數(shù)量嚴(yán)格控制在每立方米1000以內(nèi)，通常稱為1K級(jí)。

　　壓差：

　　對(duì)于大多數(shù)凈化無(wú)塵車間，為了防止外部污染侵入，需要保持內(nèi)部壓力(靜壓)高于外部壓力(靜壓)。維持壓差一般應(yīng)符合以下原則：清潔空間壓力高于非清潔空間壓力;潔凈度高的空間壓力高于相鄰潔凈度低的空間壓力;潔凈室之間的門應(yīng)打開到潔凈度高的房間。

　　壓差的維持取決于新風(fēng)量，這應(yīng)該能夠補(bǔ)償在這種壓差下從縫隙中泄漏出來(lái)的風(fēng)量。因此，壓差的物理意義是通過(guò)潔凈室各種縫隙時(shí)泄漏(或滲透)風(fēng)量的阻力。

　　溫濕度：常規(guī)溫度22±2度，濕度55±5%。

　　萬(wàn)級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)

　　世界各國(guó)都有自己的規(guī)格，但一般按照聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)FederalStandard(FS)209E，1992，無(wú)塵室可分為六級(jí)。它們分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)和10000級(jí)。如果無(wú)塵室的等級(jí)僅用塵粒的數(shù)量來(lái)描述，則可以假設(shè)塵粒的尺寸為0.5μm。例如，10級(jí)為0.2μm(塵粒尺寸為0.2μm或以上，密度不大于75/m3)，1級(jí)為0.1μm(塵粒尺寸為0.1μm或以上，密度不大于35/m3)。

　　潔凈度:潔凈度1萬(wàn)級(jí)cleanlinesclass1萬(wàn)(P2萬(wàn)級(jí)實(shí)驗(yàn)室即ISO7級(jí))即大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于35000粒/m3(35粒/L)至小于等于35000粒/m3(350粒/L);大于等于5μm的塵粒數(shù)大于300粒/m3(0.3粒/L)至小于等于3000粒/m3(3粒/L)。

　　壓差及溫濕度控制：

　　1)溫度：干盤管系統(tǒng)控制。

　　2)濕度：通過(guò)感知信號(hào)調(diào)節(jié)空調(diào)箱，控制三通閥開度，調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤管進(jìn)水量。

　　3)正壓:調(diào)節(jié)空調(diào)箱，根據(jù)靜壓感知信號(hào)自動(dòng)調(diào)節(jié)空調(diào)箱電機(jī)變頻器的頻率，從而調(diào)節(jié)進(jìn)入室內(nèi)的新風(fēng)量。

　　10萬(wàn)級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)。

　　10萬(wàn)級(jí)凈化車間的潔凈度不算太高，包括一般電子、食品飲料、醫(yī)療器械、化妝品廠等。

　　潔凈度：

　　1萬(wàn)(10萬(wàn))級(jí)潔凈室是指工作車間內(nèi)每立方米顆�？刂圃�10W以內(nèi)的生產(chǎn)車間，主要用于電子工業(yè)和制藥工業(yè)。如果食品工業(yè)有10萬(wàn)級(jí)的生產(chǎn)車間，那就相當(dāng)不錯(cuò)了。1萬(wàn)(10萬(wàn))級(jí)潔凈室要求每小時(shí)通風(fēng)15-19次，完全通風(fēng)后空氣凈化時(shí)間不超過(guò)40分鐘。

　　壓差：

　　潔凈度等級(jí)相同的潔凈室壓差保持一致，相鄰潔凈室之間的壓差應(yīng)≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間的壓差應(yīng)≥10Pa。

　　溫濕度：

　　當(dāng)10萬(wàn)級(jí)潔凈室對(duì)溫度和濕度沒有特殊要求時(shí)，最好穿干凈的工作服不要有舒適感。溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季24~26℃;波動(dòng)±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%，夏季潔凈室濕度控制在50-70%。

　　照度：

　　潔凈室(區(qū))主要生產(chǎn)用房一般照度值≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化室、氣閘室、走廊的照度值為200~300Lx。

　　30萬(wàn)級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)

　　空氣清潔度是清潔環(huán)境中空氣中懸浮顆粒數(shù)量的程度。通常，如果空氣中粉塵濃度低，空氣清潔度就會(huì)高，如果粉塵濃度高，空氣清潔度就會(huì)低。根據(jù)空氣中懸浮顆粒的濃度，將潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境中的空氣清潔度等級(jí)劃分為每立方米空氣中最大允許顆粒的數(shù)量。

　　制藥廠一般有1萬(wàn)級(jí)、10萬(wàn)級(jí)、30萬(wàn)級(jí)，其中10萬(wàn)級(jí)(灌裝、內(nèi)包裝)和30萬(wàn)級(jí)，10萬(wàn)級(jí)比30萬(wàn)級(jí)嚴(yán)格得多。

　　潔凈度：

　　每立方米大于或等于0.5μm的塵粒不得超過(guò)10、5萬(wàn)顆;每立方米大于或等于5μm的塵粒不得超過(guò)6萬(wàn)顆;每立方米浮游菌數(shù)量不得超過(guò)1000顆。

　　壓差及溫濕度控制：

　　壓差：不同潔凈水平潔凈室(區(qū))之間，靜壓差大于或等于5PA;潔凈室(區(qū))與室外，靜壓差大于或等于10PA。

　　溫濕度：溫度-18~28℃;濕度-45~65%。

　　百萬(wàn)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)

　　在潔凈空間單位體積空氣中，以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值劃分的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。

　　百萬(wàn)級(jí)空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)：

　　每立方米大于等于0.5μm的塵粒數(shù)量不得大于3.5萬(wàn)個(gè)，每立方米大于等于1μm的塵粒數(shù)量不得大于8.3萬(wàn)個(gè)，每立方米大于等于5μm的塵粒數(shù)量不得大于2.5萬(wàn)個(gè)。

　　潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的四個(gè)要求

　　潔凈室要達(dá)到良好的清潔效果，不僅要采取合理的空調(diào)凈化措施，還要有規(guī)范的設(shè)計(jì)，正確使用，科學(xué)的維護(hù)管理。潔凈程度和污染控制的可持續(xù)穩(wěn)定性是檢驗(yàn)潔凈室質(zhì)量的核心標(biāo)準(zhǔn)。該標(biāo)準(zhǔn)將根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素分為幾個(gè)等級(jí)，包括國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)內(nèi)區(qū)域行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。為了滿足等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，潔凈室應(yīng)滿足以下四個(gè)要求。

　　1、送風(fēng)清潔度。在送風(fēng)清潔度方面，要滿足要求，關(guān)鍵是凈化系統(tǒng)末級(jí)過(guò)濾器的性能和安裝。凈化系統(tǒng)末級(jí)過(guò)濾器一般采用高效過(guò)濾器或亞高效過(guò)濾器。因此，應(yīng)考慮清潔度要求，以低級(jí)潔凈室為原則，選擇高性能過(guò)濾器。

　　然而，為了選擇一個(gè)好的過(guò)濾器，我們還應(yīng)該充分考慮潔凈室的特點(diǎn)、過(guò)濾器的特點(diǎn)和凈化系統(tǒng)的特點(diǎn)。為了保證送風(fēng)的清潔度，只有合格的過(guò)濾器是不夠的，但也要保證運(yùn)輸。安裝過(guò)程中不損壞過(guò)濾器，確保安裝嚴(yán)密。

　　2、氣流組織。潔凈室的氣流組織不同于一般的空調(diào)房間要求最干凈的空氣首先送到操作部位，其作用是限制和減少對(duì)加工物的污染。因此，在設(shè)計(jì)氣流組織時(shí)應(yīng)考慮以下原則。

　　首先，盡量減少渦流，避免將工作區(qū)以外的污染帶入工作區(qū);其次，盡量防止灰塵二次飛揚(yáng)，減少灰塵對(duì)工件的污染機(jī)會(huì);最后，工作區(qū)的氣流應(yīng)盡可能均勻，風(fēng)速應(yīng)滿足工藝和衛(wèi)生要求。當(dāng)氣流流向回風(fēng)口時(shí)，應(yīng)有效帶走空氣中的灰塵。根據(jù)不同的清潔要求，選擇不同的送回方式。

　　3、送風(fēng)量或風(fēng)速。足夠的通風(fēng)量是稀釋和消除室內(nèi)空氣污染。根據(jù)不同的潔凈度要求，當(dāng)潔凈室高度較高時(shí)，可適當(dāng)增加通風(fēng)次數(shù)。其中，100萬(wàn)級(jí)潔凈室的通風(fēng)量按高效凈化系統(tǒng)考慮，其余按高效凈化系統(tǒng)考慮。當(dāng)10萬(wàn)級(jí)潔凈室高效過(guò)濾器集中布置在機(jī)房或系統(tǒng)末端使用亞高效過(guò)濾器時(shí)，通風(fēng)次數(shù)可適當(dāng)增加10-20%。

　　4、靜壓差。保持一定的正壓是保證潔凈室不受或少受污染的必要條件之一。即使是負(fù)壓潔凈室，也必須有不低于其潔凈度水平的相鄰房間或套房，以保持一定的正壓，才能保持負(fù)壓潔凈室的潔凈度。

　　據(jù)悉，維護(hù)潔凈室正壓所需的風(fēng)量主要根據(jù)維護(hù)結(jié)構(gòu)的密封性來(lái)確定。我國(guó)設(shè)計(jì)規(guī)范規(guī)定，不同級(jí)別潔凈室與潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不小于0.5mmH2O(~5Pa)，潔凈區(qū)與室外的靜壓差不小于1.OmmH20(~l0Pa)。